TY - JOUR ID - TI - Evaluate the Performance of the System Thermal Evaporatingin Vacuum for Metal Type Varian USA تقویم أداء منظومة التبخیر الحراري في الفراغ للمعادن نوع Varian الأمریكیة AU - Alaa A. Abdul- Hameed الاء علاءالدین AU - Saria D. M.Al-Algawi ساریة ذیاب PY - 2015 VL - 33 IS - 3 Part (B) Scientific SP - 76 EP - 82 JO - Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا SN - 16816900 24120758 AB - Evaporation method was used in order to prepare films of pure gold on substrate of n –Si (111) and studied the influence at different parameters deposition, such as the weight of the material used (gold) , the weight of coating deposited , the effect of each of the temperature annealing , deposition rate , thickness coatings deposited, as well as the study of open porosity.The results showed an increase in the thickness of coating with the increasing of the weight of the material used and these are different deposition ,sedimentation rates. A decrease in the open porosity with increase temperature annealing. A decrease in the density of the coating deposited with the increase in thickness due to a decrease in the stacking layers deposited. It was concluded that the efficiency of the deposited equal to 94 % for the system, and that the system can deposition coatings thickness of gold ranges from (0-7.5μm).

استخدمت طريقة التبخير من اجل تحضير أغشية من الذهب النقية على قواعد من السليكون n –Si (111) ودرس تأثير معلمات الترسيب المختلفة مثل وزن المادة المستخدمة (الذهب ) ووزن الطلاء المترسب و تأثير كل من درجة حرارة التلدين و معدل الترسيب و سمك الطلاء المترسب , كذلك على دراسة المسامية المفتوحة. أظهرت النتائج زيادة في سمك الطلاء مع زيادة وزن المادة المستخدمة وتكون هذه الزيادة بمعدلات الترسيب مختلفة, وانخفاض في المسامية المفتوحة و الالتصاقية الميكانيكية بزيادة درجة حرارة التلدين , انخفاض في مسامية الطلاء المترسب مع زيادة السمك بفعل زيادة في تراص الطبقات المترسبة. تم الاستنتاج إن كفاءة الترسيب تساوي 94% إلى المنظومة وبأنه تستطيع المنظومة ترسيب طلاءات من الذهب لمديات من السمك (0-7.5 ) µm. ER -