@Article{, title={Spectroscopic measurements of the electron temperature in low pressure microwave 2.45 GHz argon plasma قياسات طيفية لدرجة حرارة الالكترون في بلازما الاشعة المايكروية 2.45GHz لضغط الأركون المنخفض}, author={Ahmed S. Wasfi أحمد سلمان وصفي and Hammad R. Humud حمد رحيم حمود and Mohammed E. Ismae محمد عزت إسماعيل}, journal={Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء}, volume={13}, number={27}, pages={14-23}, year={2015}, abstract={The main goal of this work is to obtain the plasma electron temperature Te by optical emission spectroscopy of low pressure microwave argon plasma, as a function of working pressure and microwave power. A plasma system was designed and constructed in our laboratory using a magnetron of domestic microwave oven with power 800W without any commercial part. The applied voltage on the magnetron electrical circuit is changed for the purpose of obtaining the variable values of the microwave power. The spectral detection is performed with a spectrometer of wavelength range (200−1000nm). The working pressure and magnetron applied voltage were 0.3-3.0mbar and 180-240V, respectively. Two methods had been applied to estimate the electron temperature, the ratio of two lines’ intensity and Boltzmann plot method. It was found that, for the plasmas investigated, an increase of the electron temperature when the applied voltage has been increasing, while the electron temperature decreases when the working pressure is increasing.

الهدف الرئيس من هذا العمل هو حساب درجة حرارة الكترونات البلازما بواسطة طيف الانبعاث الضوئي لبلازما الاشعة المايكروية لضغط الأركون المنخفض كدالة لضغط العمل وقدرة الاشعة المايكروية. تم تصميم وبناء منظومة البلازما في مختبرالبلازما (قسم الفيزياء، كلية العلوم، جامعة بغداد) باستخدام مجهز اشعة مايكروية (ماكنترون) المستخدم في فرن الميكروويف المنزلي وبقدرة 800W و بدون أي جزء تجاري. لغرض الحصول على قيم قدرة اشعة مايكروية متغيرة يتم تغيير الجهد المطبق على الدائرة الكهربائية للماكنترون. اجريت قياسات طيفية بمطياف مدى الطول الموجي له (200-1000nm). وكان مدى ضغط العمل والجهد المطبق على الماكنترون (0.3-3.0mbar) و (180-240V) على التوالي. استخدمت طريقتين لحساب درجة حرارة الإلكترون، نسبة الشدة لخطين وطريقة مخطط بولتزمان. وقد وجد أن درجة حرارة إلكترونات البلازما تزداد مع زيادة الجهد المسلط، في حين تنخفض درجة حرارة الإلكترونات عند ازدياد ضغط العمل.} }