TY - JOUR ID - TI - Control the deposition uniformity using ring cathode by DC dischargetechnique التحكم بانتظام الترسيب باستخدام كاثود حلقيفي تقنية التفريغ الكهربائي للتيار المستمر AU - Kadhim A. Aadim كاظم عبدالواحد عادم AU - Muhammad O. Salman محمد عودة سلمان PY - 2017 VL - 15 IS - 32 SP - 57 EP - 67 JO - Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء SN - 20704003 26645548 AB - Simulation ofdirect current (DC) discharge plasma using COMSOL Multiphysicssoftware were used to study the uniformity of deposition on anode from DC discharge sputteringusing ring and disc cathodes, then applied it experimentally to make comparison between film thickness distribution with simulation results. Both simulation and experimental results shows that the deposition using copper ring cathode is more uniformity than disc cathode.

تم استخدام برنامج COMSOL Multiphysics لعمل محاكاة لبلازما التفريغ الكهربائي للتيار المستمر لدراسة انتظام الترسيب على الأنود الناتج من عملية الترذيذ بواسطة التفريغ الكهربائي عن طريق استخدام كاثود حلقي واخر دائري, ثم تطبيق ذلك عمليا لعمل مقارنة بين توزيع سمك الغشاء مع نتائج المحاكاة. بينت نتائج المحاكاة والنتائج العملية أن الترسيب باستخدام كاثود حلقي من النحاس أكثر انتظاما من الكاثود الدائري. ER -