TY - JOUR ID - TI - The Sputtering of Target by Charged Particles and Energy Spectra of Sputtered Atoms الرش المهبطي في المادة الهدف بواسطة الجسيمات المشحونة وطيف الطاقة لذرات الرش المهبطي AU - Sanaa Thamer Kadhum سناء ثامر كاظم AU - Saher Mezher Mutasher سحر مزهر مطشر PY - 2016 VL - 11 IS - 2 SP - 1 EP - 21 JO - Univesity of Thi-Qar Journal مجلة جامعة ذي قار العلمية SN - 27066894 27066908 AB - In this paper, we introduce a study of understanding the physical sputtering of target by energetic ions bombardment as a result from cascades of linear collisions. There are two stages of collision cascade: high energy collisions which Thomas – Fermi cross section is applied and low energy collisions that Born – Mayer cross section is characterized. The sputtering may be divided into two parts sputtering potential and sputtering yield. In this paper, we emphasize on sputtering yield which is evaluated under the slowing down of energetic ions in a medium. The resulted yield equation is extended from Boltzmann transport equation. The resulted sputtering yield of Ag, Cu and Pd targets has been measured with different incident ions. There is a variation in the yield with projectile atomic number and a deviation in the maximum of energy is found for both heavy and light projectiles. Also, we also study a formula proposed by Thompson to describe the energy spectrum of atoms sputtered from a target material irradiated by heavy ions and this formula may be expressed in terms of a normalized energy distribution function. A program in matlab is written in order to program the equations and obtain the results.

في هذا البحث قدمنا دراسة من اجل توضيح المفهوم الفيزيائي للرش المهبطي للمادة الهدف عند تعريضها إلى قذف من ايونات عالية الطاقة كنتيجة لعدد من تعاقبات التصادمات في المادة الهدف. هناك نوعين من تعاقبات التصادمات وهي التصادمات ذات الطاقة العالية والتي فيها يطبق المقطع العرضي لثوماس – فيرمي والتصادمات ذات الطاقة الواطئة والتي تتميز بالمقطع العرضي لبورن – ماير. من الممكن تقسيم الرش المهبطي إلى جزأين وهما جهد الرش المهبطي و مردود الرش المهبطي. في هذا البحث قمنا بالتركيز على مردود الرش المهبطي والتي من الممكن أن تقدر تحت تأثير تباطؤ الايونات النشطة في الوسط المادي. إن المعادلة مردود الرش المهبطي الناتج هي في الأساس تأتي من معادلة بولتزمان للانتقال. إن مردود الرش المهبطي الناتج لأهداف من الفضة, النحاس و البولوديوم, قد حسبت نتيجة سقوط ايونات مختلفة عليها. هناك تباين واختلاف في مقدار مردود الرش المهبطي المحسوبة مع اختلاف العدد الذري للجسيم الساقط المقذوف كذلك يوجد انحراف في مقدار الطاقة العظمى لكلا النوعين من الجسيمات الساقطة (الثقيلة والخفيفة). أيضا في هذا ابحث تم دراسة صيغة مقترحه من قبل ثومسن لوصف طيف الطاقة للذرات الملفوظة من المادة الهدف المشعة بواسطة عدد من الايونات الثقيلة (عملية الرش المهبطي) وان هذه الصيغة من الممكن أن يعبر عنها باستخدام دالة توزيع الطاقة المعدلة. إن برنامج بلغة الماتلاب قد تم كتابته من اجل برمجه المعادلات والحصول على النتائج ER -