@Article{, title={Study the effect of cathode geometry on I-V characteristics of nitrogen dc glow discharge دراسة تأثير الشكل الهندسي للكاثود على خصائص (I-V) لتفريغ توهج النتروجين في التيار المستمر}, author={Abdulhussain A.Khadayeir عبدالحسين عباس خضير and WessamM.Taher وسام م. طاهر}, journal={Journal of Kufa - physics مجلة الكوفة للفيزياء}, volume={11}, number={01}, pages={76-81}, year={2019}, abstract={In this paper, theI-V characteristic of a dc glow discharge are studied with the aim of determine the performance a good parametersfor stable operation of the plasma. Nitrogen plasma produced by dc glow discharge is the investigated with a manypurpose of studying plasma phenomena, the discharge system consists of two electrodes, the cathode forms various geometrical shapes and anode as a disc- shaped with diameter (8.8cm). The electrodes are enclosed in a large cylindrical glass chamber of pyrex filled with nitrogen gas. Two important physical parameters affecting the condition of the discharge are the gas pressure and constant inter-electrode distance. The discharge current-voltage (I-V) characteristic curves of the discharge were measured at variable pressure and the inter-electrode spacing, Current-voltage characteristics visualization of the discharge indicate that the discharge is take place in the normal glow region. The(I-V) characteristics of nitrogen gas discharge were deduced as a plasma system operated in normal glow discharge nitrogen, which is very important parameter in the sputtering and deposition. Also, the discharge current is increased for nitrogen plasma discharge with the increasing of the working pressure lead to increase the deposition rate

في هذاالبحث، تمت دراسة الخواص الكهربائية لألواح تفريغ التيار المتوهج DC بهدف تحديد أفضل المعلمات الجيدة للتشغيل المستقر للبلازما. يتم فحص البلازما النيتروجينية الناتجة عن تفريغ الوهج (DC) لأغراض كثير لدراسة ظاهرة البلازما، يتكون نظام التفريغ من قطبين، يشكل الكاثود أشكال هندسية مختلفة والأنود يكون على شكل قرص قطره (8.8cm). يتم وضع الأقطاب الكهربائية في غرفة زجاجية أسطوانية كبيرة من الباركسمليئة بغاز النيتروجين. اثنين من المعلماتالمهمة التي تؤثر على حالة التفريغ هي ضغط الغاز والمسافة بين الاقطاب. تم قياس منحنيات تيار التفريغ للجهد الكهربائي (I-V) للتفريغ عند ضغط تشغيل متغير وتباعد ثابت بين الأقطاب الكهربائية، يشير تصور خصائص التفريغ (تيار- فولت) إلى أن التفريغ يعمل في منطقة التوهج الطبيعية. تم استنتاج خصائص I-V لتفريغ غاز النيتروجين كنظام بلازما يعمل في تفريغ الوهج الطبيعي، والذي هو معلمة مهمة جدا في الترذيذ،الترسيب. كما ان زيادة تيار التفريغ لتفريغ بلازما النتروجين مع زيادة ضغط التشغيل يؤدي الى زيادة معدل الترسيب.} }