TY - JOUR ID - TI - Doping Effect on the Structural Properties of Zno: Al2O3 Thin Films by Pulsed Laser Deposition AU - Adawiya J.Haidar AU - Nadir F. Habubi AU - Ali A. Yousif PY - 2011 VL - 14 IS - 4 SP - 73 EP - 80 JO - Al-Nahrain Journal of Science مجلة النهرين للعلوم SN - 26635453 26635461 AB - Polycrystalline Alumina-doped Zinc Oxide (AZO) thin films on glass substrates have been deposited by pulsed laser deposition technique using pulsed Nd-YAG laser with wavelength (λ= 532 nm) and duration (7ns). The structural properties of these films were characterized as a function of Al2O3 content (1 w.t%, 3 w.t% and 5 w.t %) in the target at substrate temperatures (200°C and 400°C) and energy fluence (0.4 J/cm2). The X-ray diffraction patterns and scanning electron microscopy (SEM) for the films showed that the undoped and Al2O3-doped ZnO films exhibit hexagonal wurtzite crystal structure and high polycrystalline quality with a preferred orientation along (100) plane. The grain size increases as the Al2O3 concentration increases to 85.6 nm. The surface morphology of the films obtained by scanning electron microscopy reveals that presence of Al2O3 content in the structure did affect the surface morphology of the films significantly.

في هذا البحث، تم ترسيب أغشية اوكسيد الزنك المشوب بالالومينا ((AZO ذو تركيب متعدد البلورات، تم ترسيبها على قواعد من الزجاج باستخدام تقنية ترسيب بالليزر النبضي، حيث استخدام ليزر النيديميوم- ياك عند الطول الموجي (532 نانومتر) وآمد نبضة ( 7 نانو ثانية). تم دراسة الخصائص التركيبية كدالة لتركيز الالومينا بنسب (% 1 ,% 3 و % 5) في الهدف عند درجة حرارة القاعدة (200°C and 400°C) وكثافة طاقة الليزر الساقطة (0.4 J/cm2). اظهرت نتأئج حيود الاشعة السينية وفحص المجهر الالكتروني (SEM) بالنسبة للاغشية الغير المشوبه والمشوبه بأنها ذات تركيب سداسي متعدد التبلور وباتجاه مفضل غلى طول المستوي (100). ان حجم الحبيبات يزداد بزيادة تركيز الالومينا الى (85.6 نانومتر). ان التركيب السطحي الذي حصلنا عليه من فحص المجهر الالكتروني بالنسبة للاغشية المشوب الالومينا كان له تأثير على تركيب الاغشية بشكل واضح. ER -