TY - JOUR ID - TI - The Effect of Increasing Carbon Concentration Increasing on the Mechanical Properties of TiCx Thin Films تأثير زيادة نسبة الكاربون على الخواص الميكانيكية لكاربيد التيتانيوم المنجز بالافلام الرقيقة AU - احمد محمد حسن الغبان PY - 2013 VL - 9 IS - 1 SP - 94 EP - 100 JO - Al-Khwarizmi Engineering Journal مجلة الخوارزمي الهندسية SN - 18181171 23120789 AB - Carbides or nitrides thin films present materials with good mechanical properties for industrial applications as they can be coatings at low temperatures serve temperature sensitive surfaces. In this work the effect of the C percentage on the mechanical properties represented by the Young modulus (E) of combinatorial magnetron sputtered TiCx (34%x˂65%) has been studied. The structure of the produced films is TiC independent on the C concentration. The mechanical properties are increased with increasing the C concentration up to 50%, and then decreasing with further C % increasing. These results can be explained by considering the resultant residual stresses.

تمثل الافلام الرقيقة المكونة من مواد كاربيدية او نايتريدية ذات اهمية فائقة في مجال الصناعة لما لها من خواص ميكانيكية ممتازة مثل الصلادة اضافة الى امكانية الطلاء بدرجات حرارية واطئة تخدم السطوح الحساسة لدرجات عالية. في هذا البحث تمت دراسة تاثير نسبة الكاربون على الخواص الميكانيكية ممثلة بمعامل المرونة لافلام رقيقة من كاربيد التيتانيوم المنتج بواسطة التذرية المغنترونية لمدى معين من التراكيب الكيمياوية. وقد لوحظ ان هنالك استقرارية للخواص البنيوية للطور الناتج مع نسبة الكاربون المضافه حيث ان الطورالناتج هو في الغالب لكاربيد التيتانيوم بغض النظرعن نسبة الكاربون من حدود 34% الى غاية اقل من 65%. لوحظ ارتباط الخواص الميكانيكية للطورالكاربيدي بنسبة الكاربون. حيث تزداد الخواص الميكانيكية ( تزداد الصلادة) للطورالمنتج لغاية نسبة كاربون بمقدار 50% وثم تبدا بالتناقص بنسب كاربون اعلى. قد تشير هذه النتائج الى علاقة وثيقة بين الخواص البنيوية (Microstructure) والميكانيكية من جهة وبين الاجهادات المتبقية في الفلم الناتج من جهة ثانية. ER -