TY - JOUR ID - TI - The Influence of Substrate Temperature on In2O3 being Structured تأثير درجة حرارة القاعدة على تركيب الغشاء In2O3 AU - Mehdi Q. Zayer AU - Yasmeen Z. Dawood AU - Mohamad S. Mohamad PY - 2013 VL - 31 IS - 1 Part (B) Scientific SP - 115 EP - 121 JO - Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا SN - 16816900 24120758 AB - In2O3 thin films were grown by the chemical spray pyrolysis (CSP) method using the pneumatic spray set-up and compressed air as a carrier gas. Aqueous solutions containing InCl3.4H2O were deposited onto preheated glass sheets at substrate temperatures Ts=423–573K. X-ray differection (XRD) analysis confirmed the cubic bixbyite structure of indium oxide. The preferred growth orientation along the (211) plane for thin films. The crystallite size extracted from the XRD data corroborates the changes in full width at half maximum due to the variation in substrate temperature. It was shown that grain size of In2O3 thin film was (30)nm. Optical properties of In2O3 was studies and showed that the optical parameters (n, k α) were affected by substrate temperature.

تم تحضير اغشية رقيقة من In2O3 باستخدام طريقة الترسيب الكيميائي الحراري . المحلول المستخدم يحتوي على كلوريد الانديوم المائي والذي يرسب على على قواعد زجاجية وبدرجات حرارية تتراوح من 423 الى 573 كلفن. تم دراسة حيود الاشعة السينية لايجاد تركيب غشاء اوكسيد الانديوم. الطور السائد هو (211) لهذه الاغشية الرقيقة. تم حساب الحجم البلوري من قياس حيود الاشعة السينية وان التغير الحاصل في نتيجة للتغير في درجة حرارة القاعدة. لقد وجد ان الحجم الحبيبي لغشاء In2O3 يساوي 30 نانومتر. اما الخصائص البصرية لاغشية In2O3 والمبينة بالثوابت البصرية (معامل الانكسار, معامل الخمود و معامل الامتصاص) والتي تتاثر بدرجة حرارة القاعدة. ER -