TY - JOUR ID - TI - The Sputtering Field Calculation For Assumption plasma System By Fluid Dynamic Model حساب منتوج الترذيذ لمنظومة بلازما افتراضية باستعمال أنموذج ديناميكية المائع AU - Ibtsam J . Al – fetlawy ابتسام جعفر عبد علي AU - Mahdya A . Yeser مهدية احمد يسر AU - Sahib N . Abdul - Wahid صاحب نعمة عبد الواحد PY - 2009 VL - 1 IS - 2 Arabic SP - 115 EP - 124 JO - Journal of Kufa - physics مجلة الكوفة للفيزياء SN - 20775830 23126671 AB - The present study was undertaken to calculate sputtering yield by designing theoretical system which included crystalline silicon as a target material(3 cm radius) and Argon as bomber ion, which be present 4 cm distance from the substrate.For this purpose, many programs were design in Visual basic, where the program was planned to compute the electronic stopping power , the nuclear stopping power and sputtering yield as a function of energy of bombing ion . The results of present theoretical study were revealed compatible with those practical published results as well as the program was run out for other bomber ions like Neon, Helium, Krypton, and Xenon. Each ion pointed out different sputtering yield which ejective increasing depending on the mass of bomber ion.

إن الهدف من الدراسة الحالية هو حساب منتوج الترذيذ وذلك بواسطة تصميم منظومة افتراضية تضمنت السليكونالبلوري كمادة هدف)نصف قطرها 3سم (، والآركون كأيونات قاصفة وضعت المادة الهدف على بعد 4 سم من أرضيةلحساب قدرة الإيقاف الإلكترونية و قدرة الإيقاف النووية و منتوج الترذيذ Visual basic الترسيب .أعدت برامج بلغةكدالة لطاقة الايون القاصف .تشير نتائج الدراسة النظرية الحالية إلى توافق مع العديد من الدراسات العملية المنشورة، وقدنفذت هذه البرامج على أيونات قاصفة أخرى مثل النيون، الهليوم، الكربتون، والزنون إذ أظهرت منحنيات منتوج الترذيذنتائج مختلفة لكل أيون اعتماداً على كتلة الايون القاصف الذي يزداد منتوج الترذيذ بزيادتها ER -