TY - JOUR ID - TI - Effect of Substrate Temperature on Optical and Structural Properties of Indium Oxide Thin Films Prepared by Reactive PLD Method تأثير درجة حرارة القاعدة على الخصائص البصرية والتركيبية لاغشية اوكسيد الانديوم الرقيقة المحضرة بواسطة الترسيب بالليزر النبضي AU - Makram A. Fakhri PY - 2014 VL - 32 IS - 5 Part (A) Engineering SP - 1323 EP - 1330 JO - Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا SN - 16816900 24120758 AB - In the present Work, effect of substrate temperatures on the optical and morphological properties of In2O3 trioxide thin film has been carried out using Reactive Pulsed Laser as a Deposition technique (RPLD). 1.064µm, 7 nsec Q-switch Nd-YAG laser with 400 mJ/cm2 laser energy’s has been used to ablated pure Indium target and deposited on glass substrates . The resulted films show High transparency reached to about (85) % which found to decrease sharply with the substrate temperatures. The estimated optical band gap found to be about 3.6eV at optimum substrate temperatures (70 Co). The FTIR results insure the formation ofIn-O vibrational bond with different vibrational intensity depending on substrate temperatures.

تم في هذا البحث دراسة تاثير درجة حرارة القاعده على الخصائص البصريه والمورفولوجيه لسطح الاغشية الرقيقة المحضرة بطريقة الترسيب بالليزر النبضي . تم استخدام ليزر نديميوم ياك النبضي يعمل بضابط عامل نوعيه بطول موجي 1.06 مايكرومتر و امد نبضة 7 نانوثانيه وبطاقة 400 ملي جول/سم2 لغرض اجراء عملية الاستئصال لسطح معدن الندميوم عالي النقاوه ولغرض الترسيب على سطح القواعد الزجاجيه. اظهرت نتائج الخصائص البصريه النفاذية العالية للاغشية المحضرة والتي تصل ال 85% والتي سرعان ما تهبط بشدة مع نقصان درجة حرارة القاعدة . القيمة المحسوبه لفجوة الطاقة وجدت لتكون حوالي 3.6الكترون فولت عند الدرجة الحرارية التي اختيرت لتكون المثلى ((70Co. نتائح النفاذية للمنطقة تحت الحمراء FTIR اكدت وجود الاصرة نوع الاهتزازي بين مادتي الانديوم – الاوكسجين وبشدات اهتزاز مختلفه بالاعتماد على درجة الحرارة. ER -