Fulltext

Optimization of the Electrodes Geometrical Shape for the Electrostatic Deflector in the SEM

الشكل الهندسي الأمثل لأقطاب الحارفة الكهروستاتيكية في المجهر الالكتروني الماسح

Rafa Y. Al-Salih رافع يونس جاسم --- Muna A. Al-Khashab منى عبد الكريم الخشاب

Rafidain journal of science مجلة علوم الرافدين
ISSN: 16089391 Year: 2018 Volume: 27 Issue: 3E Pages: 153-163
Publisher: Mosul University جامعة الموصل

Abstract

The quadruple electrostatic deflectors has been designed and studied in this paper. Three different geometrical shapes of electrodes were handled; Planar, concave, and convex. Wide comparison between these electrodes was realized using a new version of finite element method magnetics (FEMM) to analyze their properties. The optimized geometrical shape of the deliberated electrodes will be chosen to use it as an electrode in the electrostatic deflector inside the objective lens for low voltage scanning electron microscope (SEM) to directing the charged particles electron beam passes throughout the optical axis of the lens towards the tested specimen

تمّ في البحث تصميم الحارفات الكهروستاتيكية الرباعية ذات المرحلتين و دراستها. تناول البحث ثلاثة أشكال هندسية مختلفة من الأقطاب الكهربائية؛ المستوية والمقعرة و المحدّبة. تمّ اجراء مقارنة واسعة بين هذه الأقطاب الكهربائية باستخدام طريقة العناصر المتناهية المغناطيسية (FEMM) لتحليل خواصّها. تم اختيار الشكل الهندسي المنتخب من بين الأشكال المدروسة ليستخدم كقطب كهربائي في الحارفات الكهروستاتيكية داخل العدسة الشيئية للمجهر الالكتروني الماسح (SEM) ذي الفولتية الواطئة لتوجيه حزمة الجسيمات المشحونة الإلكترونية المارّة من خلال المحور البصري للعدسة باتجاه العيّنة المفحوصة

Keywords

Electrostatic deflector design --- Electrode geometrical shape --- Charged particles --- Electron beam --- Low voltage SEM --- : تصميم الحارفات الكهروستاتيكية، الشكل الهندسي للقطب الكهربائي، الجسيمات المشحونة، الحزمة الالكترونية، المجهر الالكتروني الماسح ذو الفولتية الواطئة