Fulltext

Optical Method to Determine the Orientation of Monocrystalline Silicon Wafers

طريقة بصرية لتحديد الاتجاهية لشرائح السيليكون احادية البلورات

Saria D. Al-Alagawi --- Manal A. Aboud

Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا
ISSN: 16816900 24120758 Year: 2007 Volume: 25 Issue: 8 Pages: 950-954
Publisher: University of Technology الجامعة التكنولوجية

Abstract

In this work, an optical method was used for the determination of thecrystalline orientation of the chemically etched silicon surfaces in the (111),(110) and (100) planes. This method depends on the light patterns of laserbeam reflected from the monocrystalline surfaces. The optical method submitsacceptable measuring accuracy and well-distinguished folded patterns.

في هذا البحث ، استخدمت طريقة بصرية لتحديد الاتجاهية البلورية لسطوحسيليكونية منمشة كيماويا باتجاه المستويات ( 111 ) و ( 110 ) و ( 100 ). تعتمدهذه الطريقة على الأنماط الضوئية التي تكونها حزمة الليزر المنعكسة عنالسطوح أحادية التبلور. توفر هذه الطريقة البصرية دقة قياس مقبولةوأنماط متميزة بشكل واضح والاستغناء عن الفحوصات بالاشعة السينية.

Keywords

Crystalline orientation --- Crystallographic orientation --- Optical reflectogram technique.