research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Optimization of the Electrodes Geometrical Shape for the Electrostatic Deflector in the SEM
الشكل الهندسي الأمثل لأقطاب الحارفة الكهروستاتيكية في المجهر الالكتروني الماسح

Authors: Rafa Y. Al-Salih رافع يونس جاسم --- Muna A. Al-Khashab منى عبد الكريم الخشاب
Journal: Rafidain journal of science مجلة علوم الرافدين ISSN: 16089391 Year: 2018 Volume: 27 Issue: 3E Pages: 153-163
Publisher: Mosul University جامعة الموصل

Loading...
Loading...
Abstract

The quadruple electrostatic deflectors has been designed and studied in this paper. Three different geometrical shapes of electrodes were handled; Planar, concave, and convex. Wide comparison between these electrodes was realized using a new version of finite element method magnetics (FEMM) to analyze their properties. The optimized geometrical shape of the deliberated electrodes will be chosen to use it as an electrode in the electrostatic deflector inside the objective lens for low voltage scanning electron microscope (SEM) to directing the charged particles electron beam passes throughout the optical axis of the lens towards the tested specimen

تمّ في البحث تصميم الحارفات الكهروستاتيكية الرباعية ذات المرحلتين و دراستها. تناول البحث ثلاثة أشكال هندسية مختلفة من الأقطاب الكهربائية؛ المستوية والمقعرة و المحدّبة. تمّ اجراء مقارنة واسعة بين هذه الأقطاب الكهربائية باستخدام طريقة العناصر المتناهية المغناطيسية (FEMM) لتحليل خواصّها. تم اختيار الشكل الهندسي المنتخب من بين الأشكال المدروسة ليستخدم كقطب كهربائي في الحارفات الكهروستاتيكية داخل العدسة الشيئية للمجهر الالكتروني الماسح (SEM) ذي الفولتية الواطئة لتوجيه حزمة الجسيمات المشحونة الإلكترونية المارّة من خلال المحور البصري للعدسة باتجاه العيّنة المفحوصة

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2018 (1)