research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Preparation of Cu thin film by cylindrical magnetron sputtering device
تحضير الاغشية النحاسية بواسطة منظومة الترذيذ المغناطيسي ذات الابعاد الاسطوانية

Authors: Rahman R. Abdula رحمن رستم عبدالله --- Qusay A. Abbas قصي عدنان عباس --- Baha T. Chied بهاء طعمة جياد
Journal: Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء ISSN: 20704003 Year: 2009 Volume: 7 Issue: 8 Pages: 25-32
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

In the present work, a D.C. magnetron sputtering system was designed and fabricated. This chamber of this system includes two coaxial cylinders made from copper .the inner one used as a cathode while the outer one used as a node. The magnetic coils located on the outer cylinder (anode) .The profile of magnetic field for various coil current (from 2Amp to 14Amp) are shown. The effect of different magnetic field on the Cu thin films thickness at constant pressure of 7x10-5mbar is investigated. The result shown that, the electrical behavior of the discharge strongly depends on the values of the magnetic field and shows an optimum value at which the power absorbed by the plasma is maximum. Furthermore, the plasma characterization was also measured by Planar Langmuir probe to given information bout the behavior of plasma through the sputtering process

في هذا البحث , تم تصميم و بناء منظومة الترذيذ المغناطيسي ذات التيار المستمر. ان حجرة هذه المنظومة تتكون من أسطوانتين نحاسيتين متداخلتين. الداخلية منها تستعمل كقطب سالب بينما الخارجية منها تستعمل كقطب موجب. حيث ان ملف المغناطيسي موضوع على السطح الخارجي للاسطوانة الخارجية (القطب الموجب). أن توزيع المجال المعناطيسي لمختلف التيارات المارة بالملف من 2 أمبير الى 14 أمبير قد وثقت. تم دراسة تأثير المجال المغناطيسي على أسماك الاغشية النحاسية المحضرة تحت ضغط ثابت مقداره 7x10-5 ملي بار. ان نتائج هذا البحث قد بينت بان سلوك التفريغ الكهربائي يعتمد على قيم المجال المغناطيسي حيث لوحظ بان المجال المعناطيسي يمتلك افضل قيمة عندما تكون القدرة الممتصة من قبل البلازما أعظم مايمكن. بالاضافة الى ذلك أن خصائص البلازما قد قيست بأستخدام مجس لانجمور المستوي لغرض معرفة سلوك البلازما خلال عملية الترذيذ.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2009 (1)