Abstract | Keywords | Fulltext | Export | TOC

Extended calculations for sputtering yield through bombed Beryllium – target by Deuterium ions plasma are accomplished .Accounts include changing the input parameters: the energy of Deuterium ions plasma, the hit target angle of Beryllium target, thickness of the Beryllium target layer, The program TRIM is used to accomplish these calculations. Results show that sputtering yield is directly dependent on these parameters. It can change the incident angle of Deuterium ions and energy lead to a significant change in Sputtering yield . On the other hand, the sputtering yields are highly affected by changing target width at fixed ion parameters.

لقد أنجزت حسابات موسعة لعملية الترذيذ لهدف من البريليوم بواسطة قصفة بلازما ايونات الديوتيريوم . اشتملت الحسابات على تغيير معلمات الإدخال لكل من طاقة ايونات بلازما الهيدروجين وزاوية سقوطها على هدف من البريليوم وسمك طبقة الهدف وتأثيرها على حاصل الترذيذ . لقد تم توظيف برنامج TRIMلانجاز الحسابات. تبيين النتائج إن حاصل الترذيذ يعتمد اعتماد مباشر على هذه المعلمات إذ أن تغيير زاوية سقوط ايونات البلازما وطاقتها تؤدي إلى تغير محسوس في نتائج حاصل الترذيذ . اما تغير سمك الهدف فله تأثير مباشر في حاصل الترذيذ عند ثبوت معلمات الايونات.

sputtering process --- TRIM program --- plasma Deuterium ions --- Beryllium --- - ايونات بلازما الديوتريوم – البريليوم -برنامج TRIMحاصل الترذيذ –