research centers


Search results: Found 4

Listing 1 - 4 of 4
Sort by

Article
The axial profile of plasma characteristics of cylindrical magnetron sputtering device
توزيع الطولي لخصائص البلازما لمنظومة الترذيذ الماكنترون ذات الأبعاد الأسطوانية

Authors: Baha T. Chied بهاء طعمة جياد --- Rahman R. Abdula رحمن رستم عبدالله --- Qusay A. Abbas قصي عدنان عباس
Journal: Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء ISSN: 20704003 Year: 2010 Volume: 8 Issue: 11 Pages: 41-47
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

In the present work, a d.c. magnetron sputtering system was designed and fabricated. The chamber of this system was includes from two copper coaxial cylinders where the inner one used as a cathode (target) while the outer one used as the anode with Solenoid magnetic coil located on the outer cylinder (anode). The axial profile of magnetic field for various coil current (from 2A to 14 A) are shown. The plasma characteristics in the normal glow discharge region are diagnostics by the 2.2mm diameter Langmuir probe with different length along the cathode and located at different radial positions 1cm and 2cm from the cathode surface. The result of this work shows that, the electron energy distributions at different radial positions along the cathode surface are non-uniform. Therefore, the plasma characteristics at these radial positions along the cathode surface are non-uniform. So that, the ion bombardment along the cathode are non-uniform in this glow discharge region.

في هذا العمل تم تصميم وتكوين منظومة الترذيذ المستمر. ان حجرة هذه المنظومة تتكون من اسطوانتين نحاسيتين ذات محور مشترك حيث تكون تستخدم الاسطوانة الداخلية كقطب كاثود (هدف) أما الخارجية فتستخدم كقطب موجب حيث تم وضع ماف مغناطيسي على السطح الخارجي الاسطوانة الخارجية ( الانود). ان توزيع الطولي للمجال المغناطيسي المتولد من الملف المغناطيسي لمختلف التيارات من 2 أمبير إلى 14 أمبير قد بينت. ان خصائص البلازما المتولدة في منطقة التوهج الاعتيادي قد تم تشخيصها باستخدام مختلف الأطوال من مجس لانجمور وعلى أبعاد مختلفة من سطح الكاثود وهي 1 سنتيمتر و 2 سنتيمتر. ان نتائج هذا البحث قد بينت بان توزيع طاقة الإلكترون على طول الكاثود لمختلف المواقع الشعاعية غير منتظمة. لذلك فان توزيع خصائص البلازما على طول الكاثود لمختلف المواقع الشعاعية غير منتظمة. لذا فان القصف الأيوني في منطقة التوهج هذه غير منتظم أيضا.


Article
Theoretical Calculations For Sputtering Yield of Beryllium Surface Bombard By Deuterium Plasma Ions
حسابات نظرية لحاصل ترذيذ سطح البريليوم بواسطة حزمة ايونات بلازما الديوتيريوم

Author: Enas .A . Jawad
Journal: Journal of College of Education مجلة كلية التربية ISSN: 18120380 Year: 2016 Issue: 1 Pages: 1-12
Publisher: Al-Mustansyriah University الجامعة المستنصرية

Loading...
Loading...
Abstract

Extended calculations for sputtering yield through bombed Beryllium – target by Deuterium ions plasma are accomplished .Accounts include changing the input parameters: the energy of Deuterium ions plasma, the hit target angle of Beryllium target, thickness of the Beryllium target layer, The program TRIM is used to accomplish these calculations. Results show that sputtering yield is directly dependent on these parameters. It can change the incident angle of Deuterium ions and energy lead to a significant change in Sputtering yield . On the other hand, the sputtering yields are highly affected by changing target width at fixed ion parameters.

لقد أنجزت حسابات موسعة لعملية الترذيذ لهدف من البريليوم بواسطة قصفة بلازما ايونات الديوتيريوم . اشتملت الحسابات على تغيير معلمات الإدخال لكل من طاقة ايونات بلازما الهيدروجين وزاوية سقوطها على هدف من البريليوم وسمك طبقة الهدف وتأثيرها على حاصل الترذيذ . لقد تم توظيف برنامج TRIMلانجاز الحسابات. تبيين النتائج إن حاصل الترذيذ يعتمد اعتماد مباشر على هذه المعلمات إذ أن تغيير زاوية سقوط ايونات البلازما وطاقتها تؤدي إلى تغير محسوس في نتائج حاصل الترذيذ . اما تغير سمك الهدف فله تأثير مباشر في حاصل الترذيذ عند ثبوت معلمات الايونات.


Article
Study the structural and optical properties of nanostructure ZnS thin film prepared by Radio frequency (RF) magnetron sputtering technique
دراسة الخصائص التركيبية والبصرية لأغشية ZnS ذات التركيب النانوي والمحضرة بتقنية الترذيذ الماكنتروني ذي التردد الراديوي

Loading...
Loading...
Abstract

Zinc sulfide (ZnS) thin films were deposited on glass substrate with different thickness by radiofrequency (RF) magnetron sputtering technique, and deals with effect of thickness on the optical and structural properties. The structure, surface morphology and optical properties are investigated by x-ray diffraction (XRD), atomic forces microscopy (AFM), scanning electron microscopy, and UV-visible spectrophotometer. The result of XRD show that ZnS thin film exhibited cubic structure with strong peaks at (111) as highly preferential orientation. The maximum particle size of films was found to be 14.4 at thickness 868nm. SEM image show that the shape of grain is like spherical. The result of AFM shows that the surface roughness decrease with increasing in film thickness from (6.19 to 1.45)nm. The result of UV-visible suggests that transmittance increasing with increases in film thickness, the value maximum of ZnS transmission was 87.82% at thickness 868nm, can be very much useful in the field of solar cell and optical sensor .

تم ترسيب أغشية كبرتيد الخارصين على قواعد زجاجية بسماك مختلفة بوساطة تقنية الترذيذ الماكنتروني ذي التردد الراديوي RF, ودراسة تأثير السمك على الخواص التركيبية والبصرية. تم تشخيص التركيب البلوري وطبوغرافية سطح الغشاء والخواص البصرية, بوساطة حيود الاشعة السينية, ومجهر القوة الذرية, والمجهر الكتروني الماسح ومطياف UV-vis. بينت نتائج حيود الاشعة السينية ان الغشاء يمتلك تركيب مكعب وهناك قمة واضحة بالاتجاه (111). أعلى حجم للجسيمات كان مساويا الى14.4nmعند السمك 868nm. بينت صور SEM بان الجسيمات شب كروية. نتائج AFM بينت بأن خشونة السطح تناقصت مع زيادة سمك الغشاء من (6.19 الى 1.45) نانو متر. اوضحت نتائج UV-vis أن النفاذية تزداد مع زيادة السمك, أعلى قيمة للنفاذية كانت 87.82% عند السمك 868nm , مفيدة جدا في الخلايا الشمسية والمتحسسات البصرية


Article
Theoretical Calculations For Sputtering Yield of Iron Bombarding by (H, D, T, He) Ions
حسابات نظرية لحاصل ترذيذ (الرش) سطح من الحديد بواساطة حزمة من ايونات الهيدروجين و الديوتيريوم و التريتيوم والهليوم

Loading...
Loading...
Abstract

Extended calculations for sputtering yield through bombed Iron – target by ( H,D ,T ,He )ions plasma are accomplished .The calculations include changing the input parameters : the energy of ( H,D ,T ,He ) ions plasma, the hit target angle of Iron, change atomic mass of incident ion. The program TRIM is used to accomplish these calculations. The results show that sputtering yield is directly dependent on these parameters.It can changethe incident angle of ( H,D ,T ,He ) ions and energy lead to a significant change in sputtering yield on the other hand.The sputtering yields are highly affected by changing of incident ion mass at fixed other target parameters. It can be shown from calculation thatwheneverincreased incident ion mass increase sputtering yield, increases with incident ions energy and then begins todecline, sputtering will not occur ,at incident ion energies below the threshold energy .In thisstudy we found that the sputtering yield depends on incidence angle, incident ions energy and atomic mass of target

لقد أنجزت حسابات لعملية الترذيذ(الرش) لهدف من الحديد بواساطة قصف بلازما ايوناتالهيدروجين و الديوتيريوم و التريتيوم والهليوم . تشتمل الحسابات على تغيير معلمات الإدخال لكل من طاقة ايونات الهيدروجين و الديوتيريوم و التريتيوم والهليوم .وزاوية سقوطها على هدف من الحديد , و كتلة الايونات وتأثيرها في حاصل الترذيذ . لقد وظّف برنامج TRIMلانجاز الحسابات.تبين النتائج إن حاصل الترذيذ يعتمد اعتماداٌ مباشراٌ على هذه المعلماتإذ إن تغير زاوية سقوط ايونات البلازما وطاقتها تؤدي إلى تغير محسوس في نتائج حاصل الترذيذ . وكتلة الايون له تأثير مباشر في حاصل الترذيذ.يتأثر حاصل الترذيذ بشدة عن طريق تغيير كتلة الايون الساقط بثبوت معلمات الهدف الاخرى . تظهر من الحسابات التي اجريناها انه كلما زادت كتلة الايون الساقط زاد حاصل الترذيذ . الزيادة في طاقة الايون الساقط تبدا بالانخفاض . الترذيذ لايحدث عندما تكون طاقة الايون الساقط اقل من طاقة العتبة. في هذه الدراسة وجدنا أن حاصل الترذيذ يعتمد على زاوية السقوط , طاقة الايون الساقط و الكتلة الذرية لمادة الهدف.

Listing 1 - 4 of 4
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (4)


Language

English (3)

Arabic and English (1)


Year
From To Submit

2019 (1)

2016 (1)

2014 (1)

2010 (1)